공학 학교 청정실
School of Engineering Cleanroom은 HEPA 필터가있는 팬 필터 유닛 (FFU), 탈 이온수 시스템 및 프로세스 냉각수 시스템과 같은 지원 시설을 갖춘 클래스 100 & 1000 인증 클리너 룸입니다. 전기 및 전자 공학 분야 (DEEE) 졸업장에서 미세 분해제의 미세 분해제 분야에서 프로세스 냉각수 시스템을 지원합니다.
클린 룸에는 물리 증기 증착 (PVD), 화학 증기 증착 (CVD), 빠른 열 처리 (RTP) 시스템, 포토 리소 그라 요법, 화학 공정 및 다양한 측정 도구 (SEM), ATOMIC 마이크로 코피 (SEM), ATOMIC MICOSCOPY (ATOMIC) 타원계, 표면 프로파일러 및 4 점 프로브.